直接貼付InP/Glass基板上選択MOVPE成長により形成されたInP系導波路の断面形状評価

DOI

岸川純也

上智大
松本恵一

上智大
金谷佳則

上智大
下村和彦

上智大

書誌事項

タイトル別名

Research on cross-sectional geometry of InP-based waveguide grown on InP/Glass using selective MOVPE

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 3167-3167, 2014-09-01

公益社団法人応用物理学会

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詳細情報詳細情報について

CRID

1390014945749069440
DOI

10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3167
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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