Nドープに向けたMOCVD法を用いて作製したZnO膜のNOガス効果

DOI

原田善之

物材機構
王剣宇

物材機構
関口隆史

物材機構
知京豊裕

物材機構
鈴木摂

コメット
角谷正友

物材機構

書誌事項

タイトル別名

NO gas effect of ZnO films fabricated by MOCVD method for N doping

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.1 (0), 3781-3781, 2014-03-03

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390015210904065664
DOI

10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_3781
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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