ビス(2,4-ペンタジオナト)-ニッケル(II)水和物を用いたMOCVD法によるNiO薄膜の作製
書誌事項
- タイトル別名
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- MOCVD deposition of NiO films using bis(2,4-pentanedionato)nickel(II) hydrate as precursor
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.1 (0), 3788-3788, 2014-03-03
公益社団法人 応用物理学会