走査型電子顕微鏡を用いた貫通刃状転位起因の4H-SiC(0001)表面ステップテラス構造の観察

収録刊行物

• 応用物理学会学術講演会講演予稿集

  応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 4054-4054, 2013-08-31

  公益社団法人 応用物理学会