固体表面改質へ向けたイオン液体 EMI-BF<sub>4</sub> イオンビームの特性評価

DOI

竹内光明

京大光・電子理工セ
濱口拓也

京大光・電子理工セ
龍頭啓充

京大光・電子理工セ
高岡義寛

京大光・電子理工セ

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 1580-1580, 2012-08-27

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390016206134357760
DOI

10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1580
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

書き出し

問題の指摘

ページトップへ