紫外線照射による4H-SiC MOSデバイス特性劣化の波長依存性

DOI

池口大輔

阪大院工
箕谷周平

ローム
中野佑紀

ローム
中村孝

ローム
細井卓治

阪大院工
志村考功

阪大院工
渡部平司

阪大院工

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 3391-3391, 2012-08-27

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390016206135664256
DOI

10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3391
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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