プラズマ重合反応制御技術による分子細孔膜（MPS）の高速成膜

DOI

山本博規

ルネサス　エレクトロニクス先行研活
川原潤

ルネサス　エレクトロニクス先行研活
井上尚也

ルネサス　エレクトロニクス先行研活
植木誠

ルネサス　エレクトロニクス先行研活
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収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.2 (0), 2345-2345, 2011-08-16

公益社団法人応用物理学会

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詳細情報詳細情報について

CRID

1390016902826839168
DOI

10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_2345
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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