アクリル板と水による原子レベル平坦化加工法(<特集>物理化学ナノ製造プロセスの最前線)

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収録刊行物

  • 日本機械学会誌

    日本機械学会誌 126 (1259), 22-25, 2023-10-05

    一般社団法人 日本機械学会

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