バイポーラ型プラズマ利用イオン注入法で作製したダイヤモンド状炭素膜の水素量と機械的特性

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• JSAP Annual Meetings Extended Abstracts

  JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2010.2 (0), 1094-1094, 2010-08-30

  The Japan Society of Applied Physics