スパッタ薄膜による高硬度固体表面微細接触部の測定
書誌事項
- タイトル別名
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- Measurement of Micro-contacts on High-hardness Solid Surfaces Using Sputtered Thin Film
抄録
<p>本研究では，微細な接触部の検出方法として，固体表面に被覆したスパッタ薄膜が接触によって相手表面に移着することを利用することを提案している．微細な粗さのセラミックス球と滑らかなガラス平面の押し付け実験を行った後，ガラス表面の微細な接触部を光学顕微鏡やSPMを用いて測定を行った．その結果，サブミクロン以下の大きさの真実接触部について詳細に検出することができた．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 526-527, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会