高効率同時融合プラズマCMP装置の開発と加工特性評価
抄録
<p>難加工材料であるSiCやGaN、ダイヤモンドに対する高効率加工法としてプラズマCMP加工法がある。プラズマCMP加工法の実用化に向けて、複数枚の基板に対してプラズマ照射とCMPの同時融合加工が可能な実用型プラズマCMP装置を開発した。プラズマ照射とCMPの実施時間比率に着目して、プラズマ照射とCMPのサイクルを最適化することで、GaN基板に対するプラズマCMPの加工効率の向上を検討した。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 693-694, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会