単結晶シリコンカンチレバーの光熱励振法

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  • 西田 周平
    東京大学生産技術研究所　マイクロナノメカトロニクス国際研究センター
  • 小林 大
    東京大学生産技術研究所　マイクロナノメカトロニクス国際研究センター
  • 西森 勇貴
    静岡大学電子工学研究所
  • 川勝 英樹
    東京大学生産技術研究所　マイクロナノメカトロニクス国際研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Photothermal excitation of a single-crystalline silicon cantilever
  • 単結晶シリコンカンチレバーの光熱励振法--高次振動モードを用いる液中ダイナミック原子間力顕微鏡の為に
  • タンケッショウ シリコン カンチレバー ノ コウネツ レイシンホウ コウジ シンドウ モード オ モチイル エキチュウ ダイナミック ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ タメ ニ
  • －高次振動モードを用いる液中ダイナミック原子間力顕微鏡の為に－

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抄録

単結晶シリコンカンチレバーの光熱励振法について解説する．カンチレバーは励振レーザーによって局所的に熱せられ，カンチレバーの厚み方向の温度勾配によって熱応力が発生する．カンチレバーは単一素材で構成されるため，長手方向への温度勾配は熱応力を発生しない．従って，周期的モード形状を有する高次振動モードを効率的に励起することが出来る．波長405nmおよび780nmのレーザーダイオードを用いてカンチレバーのたわみ2次モードを励起し，光熱励振法における励振効率の波長依存性を調べた．405nmレーザーは780nmレーザーに比べて2.3から4.2倍励振効率が高かった．この振動効率の差は各レーザーの外部透過率を計測することにより，シリコンの波長吸収特性に起因することが明らかになった．

収録刊行物

  • 生産研究

    生産研究 62 (3), 255-258, 2010

    東京大学生産技術研究所

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