Extremely-high vacuum system for the pressure measurement using the laser-ionization method.
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- KOKUBUN Kiyohide
- Electrotechnical Laboratory
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- SHIMIZU Hazime
- Electrotechnical Laboratory
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- ICHIMURA Shingo
- Electrotechnical Laboratory
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- KAWAHARA Humio
- Anelva Co.
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- KONDO Minoru
- Anelva Co.
Bibliographic Information
- Other Title
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- レーザ・イオン化法による圧力計測のための極高真空装置の試作
- レーザ イオンカホウ ニ ヨル アツリョク ケイソク ノ タメ ノ キョク
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Abstract
記事分類: 測定・測定器--圧力
Journal
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- Shinku
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Shinku 34 (1), 14-16, 1991
The Vacuum Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679039968000
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- NII Article ID
- 130000862527
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 3703144
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles