真空計校正用大型チェンバの製作

書誌事項

タイトル別名
  • Development of a Large UHV Chamber for a Vacuum Gauge Calibration.
  • シンクウケイ コウセイヨウ オオガタ チェンバ ノ セイサク

この論文をさがす

収録刊行物

  • 真空

    真空 40 (5), 446-448, 1997

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (9)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ