励起中性粒子検出法を用いた小型指向性真空計の試作

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タイトル別名
  • Compact Unidirectional Vacuum Gauge by Means of Detecting Excited Neutrals
  • レイキ チュウセイ リュウシ ケンシュツホウ オ モチイタ コガタ シコウセイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 27 (5), 327-329, 1984

    一般社団法人 日本真空学会

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