超高真空のために　Ｖ　　圧力測定・気体流量測定　Ｉ

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タイトル別名
  • For ultra-high vacuum. 5. Pressure and gas flow measurement. 1.
  • チョウ コウ シンクウ ジッケン ノ タメ ニ 5 アツリョク ソクテイ キタ
  • 1. 圧力測定の基礎, 2. 実験室における電離真空計, マスフィルターの感度校正

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抄録

記事分類: 機械工学--流体機械 ; 測定・測定器

収録刊行物

  • 真空

    真空 31 (2), 126-134, 1988

    一般社団法人 日本真空学会

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