Recent Developement of Cryopumps and Cryotraps

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  • 低温における吸着と冷凍技術　　クライポンプとクライオトラップの最近の発展
  • クライオポンプ ト クライオトラップ ノ サイキン ノ ハッテン

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  • Shinku

    Shinku 43 (4), 469-476, 2000

    The Vacuum Society of Japan

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