マイクロマシン　　マイクロフィールドエミッション電子銃の超小型電子ビームシステムヘの応用

DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献9件
  • 遠藤 康浩
    富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部
  • 本荘 一郎
    富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部
  • 伊藤 昭夫
    富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部

書誌事項

タイトル別名
  • Application of Micro Field Emitters to a Miniature Electron Beam Column
  • カイセツ マイクロフィールドエミッション デンシジュウ ノ チョウコガタ デンシ ビーム システム エ ノ オウヨウ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43 (2), 112-118, 2000

    一般社団法人 日本真空学会

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参考文献 (9)*注記

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