ECRスパッタ法によるInSb薄膜の組成制御

書誌事項

タイトル別名
  • Composition Control of InSb Thin Films by ECR Sputtering.
  • ECR スパッタホウ ニ ヨル InSb ハクマク ノ ソセイ セイギョ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 36 (3), 357-359, 1993

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (2)*注記

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