対向ターゲットスパッタ法によるZnO:Al薄膜の低温作製

書誌事項

タイトル別名
  • Low Temperature Deposition of ZnO: Al Thin Films by Targets-Facing-Type Sputtering Method.
  • タイコウ ターゲット スパッタホウ ニ ヨル ZnO Al ハクマク ノ テイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 36 (3), 379-382, 1993

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (6)*注記

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