弗素化したTextured SnO2薄膜の水素プラズマ耐性

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タイトル別名
  • Hydrogen Plasma durability of the Fluorinated SnO2 Thin Films.
  • フッソカシタ Textured SnO2 ハクマク ノ スイソ プラズマ タイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 36 (3), 275-277, 1993

    一般社団法人 日本真空学会

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参考文献 (10)*注記

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