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- YASUDA Hiroaki
- Dept. of Electrical Engineering & Electronics, Aoyama Gakuin Univ.
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- SAWABE Atsuhito
- Dept. of Electrical Engineering & Electronics, Aoyama Gakuin Univ.
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- INUZUKA Tadao
- Dept. of Electrical Engineering & Electronics, Aoyama Gakuin Univ.
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- SUZUKI Kazuhiro
- Kyoei Plastics Company
Bibliographic Information
- Other Title
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- 特集プラズマプロセス ＩＩＩ 直流放電を用いた気相成長法によるダイヤモンド薄膜の作製と評価
- チョクリュウ ホウデン オ モチイタ キソウ セイチョウホウ ニ ヨル ダイヤ
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Journal
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- Shinku
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Shinku 31 (6), 637-643, 1988
The Vacuum Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679041730176
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- NII Article ID
- 130000863400
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 3193791
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles