階段状構造を有するＸ線用多層膜レンズの開発

DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献15件
  • 田村 繁治
    産業技術総合研究所 光技術研究部門（関西センター） (財)高輝度光科学研究センター（SPring-8）
  • 安本 正人
    産業技術総合研究所　計測フロンティア研究部門 (財)高輝度光科学研究センター（SPring-8）
  • 上條 長生
    関西医科大学 (財)高輝度光科学研究センター（SPring-8）
  • 鈴木 芳生
    (財)高輝度光科学研究センター（SPring-8）
  • 竹内 晃久
    (財)高輝度光科学研究センター（SPring-8）
  • 上杉 健太朗
    (財)高輝度光科学研究センター（SPring-8）
  • 寺田 靖子
    (財)高輝度光科学研究センター（SPring-8）

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Multilevel-type Multilayer Lens for X-rays
  • カイダンジョウ コウゾウ オ ユウスル Xセンヨウ タソウマク レンズ ノ カイハツ

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抄録

  A multilayer (sputtered-sliced) Fresnel zone plate (FZP) is one of promising focusing optics for high-energy X-rays. In order to attain high diffraction efficiency, two types of multilevel-type multilayer FZPs have been fabricated, and these focusing characteristics have been measured at SPring-8. The FZPs composed of concentric multilayers of alternating high-Z(Cu), low-Z(Al), and several types of composite materials layers by Cu and Al. As a result, (1) no significant difference was observed both the measured beam size and the diffraction efficiency of a FZP during 9 months to the FZP with 4-step structure, (2) the diffraction efficiency of the 1st order focus and the focused beam size measured by the knife-edge scanning were more than 50% and 0.8 μm at 41.3 keV, respectively to the FZP with 6-step structure.<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 50 (3), 164-166, 2007

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (15)*注記

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