Ti基板上に蒸着したNb膜上へのTi薄膜の析出とそのゲッターポンプ作用

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タイトル別名
  • Precipitation of Ti thin film onto Nb film deposited on Ti substrate.
  • Ti キバンジョウ ニ ジョウチャクシタ Nb マク ジョウ エ ノ Ti ハ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 33 (3), 198-200, 1990

    一般社団法人 日本真空学会

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