極薄シリコン酸化膜の進展　　極薄シリコン酸化膜に関する研究の現状と課題

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タイトル別名
  • Studies on Ultrathin Silicon Oxide Films and Their Current Problems
  • カイセツ ゴクウス シリコン サンカ マク ニ カンスル ケンキュウ ノ ゲンジョウ ト カダイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 44 (8), 695-700, 2001

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (95)*注記

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