解離水素による金属表面洗浄

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  • The Process of Surface Cleaning by Dissociated Hydrogen Atoms
  • カイリ スイソ ニヨル キンゾク ヒョウメン センジョウ

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抄録

(1) 充分酸化後のステンレス鋼表面における反応確率は0.2であり, 亜酸化銅の1に較べて小さい.これは金属とガスの結合力の違いによるものであろう.<BR>(2) 充分酸化した表面でのFig.4の (I) の結果はDietzの結果と一致する.Dietzはこれについて表面で反応が起るのではなく, 表面近傍の酸化層内の反応であると述べている.<BR>(3) 約2×1018 (cm-2) の水素原子にさらした後の結果 (Fig.5II) からは, バルク内の酸素原子が表面近傍に向って拡散する現象が関係しているように考えられる.このような拡散が水蒸気生成速度を律速するのならば, 壁の温度を可能な限り高く維持することによって, 清浄度の高い表面が短時間に得られるであろう.

収録刊行物

  • 真空

    真空 22 (3), 92-94, 1979

    一般社団法人 日本真空学会

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