集束イオンビームを用いた電子光学系輪帯瞳用アパーチャの作製

DOI Web Site 参考文献15件
  • 藤原 誠
    大阪産業大学大学院工学研究科アントレプレナー専攻
  • 田中 武雄
    大阪産業大学大学院工学研究科アントレプレナー専攻
  • 志水 一平
    大阪産業振興機構
  • 松谷 貴臣
    大阪電気通信大学情報通信工学部光・エレクトロニクス学科
  • 日坂 真樹
    大阪電気通信大学情報通信工学部光・エレクトロニクス学科
  • 安江 常夫
    大阪電気通信大学情報通信工学部光・エレクトロニクス学科
  • 生田 孝
    大阪電気通信大学情報通信工学部光・エレクトロニクス学科
  • 田屋 昌樹
    大阪大学大学院工学研究科生命先端工学専攻物質生命工学コース
  • 木村 吉秀
    大阪大学大学院工学研究科生命先端工学専攻物質生命工学コース
  • 高井 義造
    大阪大学大学院工学研究科生命先端工学専攻物質生命工学コース
  • 川崎 忠寛
    名古屋大学エコトピア科学研究所
  • 市橋 幹雄
    名古屋大学エコトピア科学研究所

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Micro-aperture for Annular Pupil on Electron Optics by Focused Ion Beam Technique
  • シュウソク イオン ビーム オ モチイタ デンシ コウガクケイ リンタイ ドウヨウ アパーチャ ノ サクセイ

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抄録

  Micro-apertures for annular pupil on electron optics have been developed using a focused ion beam technique to realize an increase in the depth of focus, aberration-free imaging and separation of amplitude and phase images under scanning transmission electron microscopy (STEM). A tantalum plate 30 μm thick was used as the annular pupil material in the present experiment. The apertures were designed with various outer diameters from φ120 μm to φ60 μm and at inner diameter of 80% outer diameter. Fabricated apertures were characterized by a scanning ion-beam microscope and a scanning electron microscope. Apertures were successfully obtained at the designed size, although the slits of the pupils were slightly tapered by the ion-beam etching process. These annular pupils were loaded on a STEM and confirmed to display no charge-up phenomenon by observation of the projection image on a scintillator using a CCD camera.<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 50 (10), 639-643, 2007

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (15)*注記

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