Micromachining Using Synchrotron Radiation Light

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  • 放射光と高分子　　放射光による微細加工
  • テンボウ ホウシャコウ ニ ヨル ビサイ カコウ

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シンクロトロン放射(SR)光X線を利用したLIGA(Lithogra-phie,Galvanoformung,Abformung,独語)プロセスは,数十μm- 数百μm以上の厚さで,高いアスペクト比(加工幅に対する厚さの比)のマイクロ構造体をつくることができる。立命館大学の小型超伝導SR光源AURORAを用いたLIGAプロセスの概要と3次元加工への新展開を概説する。

Journal

  • Kobunshi

    Kobunshi 53 (2), 70-73, 2004

    The Society of Polymer Science, Japan

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