表面電位画像化による半導体不純物分布評価および高空間分解能化

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  • Study for Impurity Doping Distribution in Semiconductor Applying Imaging of Surface Potential and Achieving Method for Higher Spatial Resolution
  • ヒョウメン デンイ ガゾウカ ニ ヨル ハンドウタイ フジュンブツ ブンプ ヒョウカ オヨビ コウクウカン ブンカイ ノウゲ

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抄録

<p>表面電位計測手法は古くからあるが，高精度，高空間分解能，高電圧計測は簡単ではない．ここでは，高精度な測定のための手法や，高電圧計測に優れた手法を紹介した．精度の高い計測には，探針が長いことが重要であり，高電圧計測で安定に計測するためにゼロ位法を用いることを説明した．また，半導体不純物濃度分布計測について紹介し，半導体表面電位は，そのバンド構造を反映しており，不純物濃度の違いで表面電位の違いとして観測することが出来る．大気中での計測では，半導体表面状態をコントロールできないことから，定量的な解析は簡単ではないが，定性的解析は可能であろうと思われる．さらに，これらの手法の応用分野は広く，その一例として環境発電のためのエレクトレット評価について説明した．</p>

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