小特集　ダイヤモンド薄膜の成膜技術・評価および応用　直流プラズマＣＶＤ法によるダイヤモンド合成

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タイトル別名
  • Special Issue/Deposition Methods, Characterizations and Applications of Diamond Films. Diamond Synthesis by DC Plasma CVD Method.
  • チョクリュウ プラズマ CVDホウ ニ ヨル ダイヤモンド ゴウセイ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 42 (12), 1196-1198, 1991

    一般社団法人 表面技術協会

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