Special Issue/Deposition Methods, Characterizations and Applications of Diamond Films. Deposition of Diamond Films Using Magneto-Active Plasma CVD and Microwave Plasma CVD.
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- SUZUKI Jun-ichi
- Shimadzu Co., Industrial Machinery Div.
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- KAWARADA Hiroshi
- Fac. of Eng., Osaka Univ. Present: School of Eng., Waseda Univ.
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- HIRAKI Akio
- Fac. of Eng., Osaka Univ.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 小特集 ダイヤモンド薄膜の成膜技術・評価および応用 有磁場マイクロ波プラズマＣＶＤ法およびマイクロ波プラズマＣＶＤ法によるダイヤモンド薄膜の作製
- ユウジバ マイクロハ プラズマ CVDホウ オヨビ マイクロハ プラズマ CV
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Journal
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- Journal of The Surface Finishing Society of Japan
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Journal of The Surface Finishing Society of Japan 42 (12), 1189-1195, 1991
The Surface Finishing Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679091237888
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- NII Article ID
- 130001073378
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- NII Book ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL BIB ID
- 3744947
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
