Special Issue/Deposition Methods, Characterizations and Applications of Diamond Films. Applications of CVD-grown Diamond Films to Electronic Devices.
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- OKANO Ken
- Fac. of Eng., Tokai Univ.
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- KUROSU Tateki
- Fac. of Eng., Tokai Univ.
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- IIDA Masamori
- Fac. of Eng., Tokai Univ.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 小特集 ダイヤモンド薄膜の成膜技術・評価および応用 CVDダイヤモンド薄膜の電子デバイスへの応用
- CVD ダイヤモンド ハクマク ノ デンシ デバイス エ ノ オウヨウ
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Abstract
記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子
Journal
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- Journal of The Surface Finishing Society of Japan
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Journal of The Surface Finishing Society of Japan 42 (12), 1230-1234, 1991
The Surface Finishing Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679091244800
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- NII Article ID
- 130001073385
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- NII Book ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL BIB ID
- 3744954
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles