書誌事項
- タイトル別名
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- Surface Micromachining Sensors
- カイセツ ヒョウメン マイクロマシニングガタ センサ
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収録刊行物
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- 表面技術
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表面技術 51 (9), 880-884, 2000
一般社団法人 表面技術協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679091951616
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- NII論文ID
- 10006250050
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- NII書誌ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL書誌ID
- 5496984
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles