Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. Deposition of Thin Films and Surface Modification of Semiconductors Using cat-CVD System.

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  • マルチメディア時代における真空装置と薄膜応用　　ｃａｔ‐ＣＶＤ法を用いた薄膜堆積と半導体表面改質
  • マルチメディア デバイス ノ サイゼンセン cat-CVDホウ オ モチイタ

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