金属・合金/誘電体ナノ積層化による低抵抗透明導電フィルム

書誌事項

タイトル別名
  • Low Resistivity Transparent Conductive Film of the Metal Alloy / Dielectric Nano-Multilayer by Sputtering
  • キンゾク ・ ゴウキン/ユウデンタイ ナノ セキソウカ ニ ヨル テイテイコウ トウメイ ドウデン フィルム

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 64 (7), 382-385, 2013

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (10)*注記

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