半導体および半導体部材へのめっき工程におけるトラブルとその対策

  • 梅田 泰
    関東学院大学 材料・表面工学研究所

書誌事項

タイトル別名
  • Trouble Shooting for Semiconductor Related Materials and Plating Processes
  • 半導体および半導体部材へのめっき工程におけるトラブルとその対策 : 電解金めっきの使い方の問題点と対策
  • ハンドウタイ オヨビ ハンドウタイ ブザイ エ ノ メッキ コウテイ ニ オケル トラブル ト ソノ タイサク : デンカイ キンメッキ ノ ツカイカタ ノ モンダイテン ト タイサク
  • -電解金めっきの使い方の問題点と対策-
  • –Trouble Shooting for Gold Plating Processes–

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 65 (7), 308-310, 2014

    一般社団法人 表面技術協会

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