書誌事項
- タイトル別名
-
- Optical Properties of the Sputter-Deposited AlN/Al/AlN Multilayer Nanofilms
- AlN/Al/AlN ナノ セキソウマク ノ サクセイ ト コウガクテキ トクセイ
この論文をさがす
抄録
Transparent heat-mirror insulation films comprising a multilayer of AlN/Al/AlN were fabricated using new magnetic hollow-cathode sputtering. Electrical and optical properties of multilayer films were examined. Visible transmission of 78 % (at 0.5 μm) and infrared transmission of 30 % (at 1.0 μm) were obtained for a three-layer film of AlN (30 nm) / N-doping Al (9 nm) /AlN(30 nm)on PET films.
収録刊行物
-
- 表面技術
-
表面技術 64 (5), 311-314, 2013
一般社団法人 表面技術協会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282679095977088
-
- NII論文ID
- 10031171503
-
- NII書誌ID
- AN1005202X
-
- COI
- 1:CAS:528:DC%2BC3sXhtFaqtL7P
-
- ISSN
- 18843409
- 09151869
-
- NDL書誌ID
- 024655854
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可