オージェ電子分光法

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タイトル別名
  • Auger Electron Spectroscopy
  • 最新表面科学講座(第9講)オージェ電子分光法
  • サイシン ヒョウメン カガク コウザ(ダイ9コウ)オージェ デンシ ブンコウホウ

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抄録

オージェ電子分光法（AES）は，物質表面から1～5 nm程度の深さまでの領域を化学分析する手法である。AESはほかの表面分析法と比較して，最も微小な領域の分析が可能であることから，表面の局所で発生する現象と化学変化との関連などを調べる研究開発，異常部解析，品質保証などの目的で，種々の研究分野および産業分野に貢献してきた。本稿では，このAESの簡単な原理，測定法，応用例について概説した。

収録刊行物

  • 色材協会誌

    色材協会誌 86 (5), 175-178, 2013

    一般社団法人 色材協会

参考文献 (15)*注記

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