書誌事項
- タイトル別名
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- Secondary Ion Mass Spectrometry
- 最新表面科学講座(第16講)二次イオン質量分析法 : TOF-SIMSの紹介
- サイシン ヒョウメン カガク コウザ(ダイ16コウ)ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ : TOF-SIMS ノ ショウカイ
- －Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry－
- －TOF-SIMSの紹介－
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抄録
原理的には，イオンビームを試料に照射して，表面から発生する二次イオンを質量分析するものがSIMSである。イオン照射量が少ないTOF-SIMSは，絶縁物の測定が容易であり，D-SIMSと違い有機化合物の化学構造をかなり保ったままイオン化できるので，有機化合物の同定が容易であるという特徴をもつ。表面測定データの解析には，定性分析を目的としたスペクトル解析と構成物質の面内分布を解析するイメージング解析があり，これらはどちらも生データから再構成できる。未知試料の場合は，PositiveとNegative両方のスペクトルを測定する。
収録刊行物
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- 色材協会誌
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色材協会誌 86 (10), 386-391, 2013
一般社団法人 色材協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679117003008
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- NII論文ID
- 130004516230
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- NII書誌ID
- AN00354634
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- COI
- 1:CAS:528:DC%2BC3sXhvFymtrrK
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- ISSN
- 18832199
- 0010180X
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- NDL書誌ID
- 024945184
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可