Thermodynamics of thermal CVD process by thermodynamics, phase diagram, and transfer rate theory.
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- 不破 章雄
- 早大理工材料工学科
Bibliographic Information
- Other Title
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- 熱CVDにおける熱力学,相図及び移動速度論的解析
- ネツ CVD ニ オケル ネツリキガク ソウズ オヨビ イドウ ソクドロンテキ
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Description
記事分類: 化学・化学工業--理論化学・物理化学
Journal
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- RESOURCES PROCESSING
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RESOURCES PROCESSING 41 (4), 184-189, 1994
The Resources Processing Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679244104192
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- NII Article ID
- 130003637906
- 40004634018
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- NII Book ID
- AN10136265
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- ISSN
- 18839150
- 09124764
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- NDL BIB ID
- 3599829
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles