書誌事項
- タイトル別名
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- Adhesion of Micro-lithographic Pattern Analyzed by Using Atomic force Microscope(AFM)
- ゲンシカンリョク ケンビキョウ AFM オ モチイタ ビサイ カコウ パターン ノ セッチャクセイ カイセキ
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収録刊行物
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- Journal of The Adhesion Society of Japan
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Journal of The Adhesion Society of Japan 38 (12), 465-470, 2002
一般社団法人 日本接着学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679251832192
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- NII論文ID
- 10010087561
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- NII書誌ID
- AN10341672
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- ISSN
- 21874816
- 09164812
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- NDL書誌ID
- 6376933
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles