アルゴン／ヘリウム共用誘導結合プラズマにおける冷却ガスの検討

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  • Evaluation of cooling gas for argon/helium compatible ICP
  • アルゴン ヘリウム キョウヨウ ユウドウ ケツゴウ プラズマ ニ オケル レイキャク ガス ノ ケントウ

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抄録

アルゴン誘導結合プラズマ（ICP）のランニングコストの低減とヘリウムICPの高出力化を実現し，かつプラズマガスの変更だけでアルゴンICPとヘリウムICPを生成できる，ガス冷却アルゴン/ヘリウム共用ICPトーチを開発した．このトーチでは冷却ガスをプラズマの軸方向に排出する形状となっているため，冷却ガスがプラズマ中に混入することが懸念される．そこで，冷却ガスの流量と種類がアルゴンICP及びヘリウムICPに与える影響を分光手法を用いて測定した．その結果，適切な冷却ガス種と流量を選択することにより，逆に冷却を行わない場合よりもプラズマへの大気の混入を低減できることが明らかとなった．<br>

収録刊行物

  • 分析化学

    分析化学 53 (8), 817-825, 2004

    公益社団法人 日本分析化学会

被引用文献 (10)*注記

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