非晶質酸化スズ膜の組成および熱処理による構造変化

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  • Composition of Amorphous Tin Oxide Films and Their Thermal Behavior
  • ヒショウシツ サンカ スズ マク ノ ソセイ オヨビ ネツ ショリ ニ ヨル
  • Thin films-preparation, structure and properties. Composition of amorphous tin oxide films and their thermal behavior.

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抄録

反応性蒸着法によって異なる条件下で5種類の非晶質酸化スズ膜を蒸着し,その組成および熱処理にえよる構造変化を119Sn Mossbauer 効果,TG,DSC X線回折によっで調べた。非晶質膜の組成は蒸着条件に依存しSnO1.3～SnO1.5であった。膜は多孔性の微細構造を示し,蒸着時の基板温度が低いほどより顕著であった。非晶質膜を空気中で加熱した場合には200℃ 付近で完全に酸化され非晶質のSnO2となり,370℃ 以上で結晶化しルチル型SnO2となった。一方,窒素ガス中では400℃ 付近でも結晶化が始まり,α-SnOおよびルチル型SnO2の二相に不均化反応した。

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