水蒸気プラズマによるポリ(エチレンテレフタレート)フィルムの表面処理と蒸着コバルト薄膜の接着性

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タイトル別名
  • Effect of H<SUB>2</SUB>0 Plasma Treatment on the Adhesion of Metal Thin Filmst
  • スイジョウキ プラズマ ニ ヨル ポリ エチレンテレフタレート フィルム ノ
  • Thin films-preparation, structure and properties. Effect of H2O plasma treatment on the adhesion of metal thin films.

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抄録

水蒸気プラズマ処理によりポリ(エチレンテレフタレート)(PET)フィルムの表面処理を行ない,表面のぬれ姓およびコバルト金属薄膜との接着姓におよぼす表面処理の効果について検討し,つぎの結果を得た。(1)ごく短時間の水蒸気プラズマ処理によりPETフィルム表面のぬれ性は大きく向上した。このPETフィル.ムにコパルトを真空蒸着あるいは高周波イオンプレーティングした場合のコバルト薄膜の接着性は,未処理の場合よりもいちじるしく増大した。(2)水蒸気プラズマ処理時の高周波電界出力が小さい(25W)場合には,PETフィルムの水との接触角は処理時間が長くなるにつれて徐々に低下したが,高周波電界出力が大きい(100W)場合には,短時間の処理で接触角は最小となり,その後増大した。一方,コバルト薄膜の接着性は,高周波電界出力が小さい場合には,短時間の処理で最大となり,大きい場合にはほぼ一定であった。(3)水蒸気プラズマ処理を施したPETフィルム上にコバルトを真空蒸着あるいは高周波イオンプレーティングしたとき,コパルト層の磁気特性が特異的挙動を示した。

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