書誌事項
- タイトル別名
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- Application of Octamethylcyclotetrasiloxane/Perfluorocarbon V a p toor Phase Cleaning of Oil
- Studies on Precision Cleaning. I. Application of Octamethylcyclotetrasiloxane/Perfluorocarbon to Vapor Phase Cleaning of Oil.
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説明
精密部品の洗浄剤として優れた性質を持っているが,オゾン枯渇性物質として全廃されることになった 1,1,2-トリクロロ-1,2,2-トリフルオロエタン(CFC113)の代替洗浄剤として注目されているペルフルオロカーボンはその物性は CFC113 と類似しているが,ほとんどの物質に対する溶解力,洗浄力がない。われわれはオクタメチルシクロテトラシロキサン(D4)とペルフルオロオクタン(PFO)の混合物が 80～103℃ の範囲で均一に混合することを見出した。このことから, D4 による溶剤洗浄とそれに続く PFO による蒸気洗浄が CFC113 の代替洗浄となりうると考え,モデル汚染物質を用いて,基板洗浄を種々の系で検討し, D4/PFO 系が有望な代替洗浄剤であることを明らかにした。
収録刊行物
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- 日本化学会誌（化学と工業化学）
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日本化学会誌（化学と工業化学） 1996 (8), 742-746, 1996-08-10
公益社団法人 日本化学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679365845248
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- NII論文ID
- 130004160495
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- ISSN
- 21850925
- 03694577
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
