四フッ化炭素プラズマによる有機高分子および金属の表面改質

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タイトル別名
  • Surface Modification of Polymers and Metal in Carbon Tetrafluoride Plasma
  • 4フッ化炭素プラズマによる有機高分子および金属の表面改質
  • 4 フッカ タンソ プラズマ ニ ヨル ユウキ コウブンシ オヨビ キンゾク

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説明

各種機能性有機高分子および金属表面をはっ水性にする口的で,これらにラジオ波(13.56MHz)またはマイクロ波(2450MHz)グロー放電により発生させたCF4プラズマ処理を行なった。試料は,有機高分子材料としてKapton,PEI,PEEK,PES,PP,PETを,金属材料としてアルミニウムをそれぞれ用いた。<BR>その結果,有機高分子材料に関してはきわめて短時間で,PTFE表面と同程度あるいはそれ以上の高はっ水性表面に改質されることがわかった。なお,改質層にはフッ素原子の存在が認められ,その大部分は炭素原子と結合していることを確認した。<BR>これらの改質過程としては,エッチングと堆積とが競争して起こっていると考えられ,どちらが支配的であるかは放電あるいは処理条件などにより異なり,それぞれの改質表面には物理的にも化学的にも大きな相違がみられた。<BR>一方,金属材料のはっ水化処理の一手法として,CH4プラズマによりコーティングしたアルミニウム基板をCF,プラズマ処理し,その表面について評価検討を行なった。

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