6-1 ICのアルミ配線腐食を劣化指標とする診断法(日本信頼性学会第9回信頼性シンポジウム)

DOI 被引用文献1件
  • 佐々木 恵一
    株式会社東芝 重電技術研究所 エレクトロニクス技術開発部 信頼性技術グループ
  • 南 裕二
    株式会社東芝 重電技術研究所 エレクトロニクス技術開発部 信頼性技術グループ
  • 安達 健二
    株式会社東芝 重電技術研究所 エレクトロニクス技術開発部 信頼性技術グループ
  • 熊丸 智雄
    株式会社東芝 重電技術研究所 エレクトロニクス技術開発部 信頼性技術グループ

抄録

Corrosion of Al-pattern on IC appears earlier than abnormarities in its input-and-output characteristics. Therefore, it is reasonable to check the corrosion in order to catch the tendency of degradation of electronic equipments as early as possible. Then we did a fundamental study to adopt the amount of the corrosion as a diagnotic parameter. As the result, we found the time-dependence of corrosion and a relationship between corrosion and failure. These characteristics can be applied to degradation diagnosis.

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282679429821312
  • NII論文ID
    110004003343
  • DOI
    10.11348/reajshinrai.18.7_601
  • ISSN
    24242543
    09192697
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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