Reliability of MEMS

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  • MEMSの信頼性
  • MEMS ノ シンライセイ

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半導体微細加工技術で製作され, 付加価値の高い部品として用いられているMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の信頼性について述べる.MEMSはセンサやディスプレイのように, システムから外部につながる入出力部などに用いられることが多いため, 特に装着やパッケージングが重要である.アクチュエータを一体形成し, 自己診断や自己テストの機能などを持たせることができる.材料を変形させる使い方の場合には破壊強度などが, また接触させる使い方の場合には表面間力による付着や磨耗などが問題になる.その他, 微細構造が露出している流体システムや静電アクチュエータなどではゴミの付着なども課題であり, また多様なMEMSにそれぞれ特有な信頼性上の問題があり, これらを解決していかなければならない.

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