はんだフラックス由来の臭素によるAu-Al接合部の腐食のHASTとAir-HASTを用いた加速評価(信頼性試験)

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タイトル別名
  • Accelerated Evaluation of Au-Al Bonds Corrosion by Bromine in Solder Flux, using HAST and Air-HAST(Reliability Test)
  • はんだフラックス由来の臭素によるAu-Al接合部の腐食のHASTとAir-HASTを用いた加速評価
  • ハンダフラックス ユライ ノ シュウソ ニ ヨル Au-Al セツゴウブ ノ フショク ノ HAST ト Air-HAST オ モチイタ カソク ヒョウカ

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説明

半導体デバイスをはじめ,多くの電子部品で,低価格で接合安定性の高い配線/金属接合として,Auワイヤ/AlパッドによるAu-Al合金による接続が使われている.一方,近年はんだのフラックス中に含まれるハロゲン元素(特にBr元素)によるAu-Al合金層の腐食の不具合がしばしば問題になっている.この腐食現象を発現させるには,一般的に耐湿試験(85℃,85%RH,1000h等の条件)で評価を行っているが,結果が出るまでに時間がかかる.そこで本研究では,三種類の試験評価((1)耐湿試験,(2)HAST,(3)Air-HAST)を行い,劣化モードの比較を行い,短時間でフラックス中のBr元素によるAu-Al合金層の腐食現象を評価できる試験方法を選定したので報告する.

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