書誌事項
- タイトル別名
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- Three-dimensional micro-machining for fiber type optical control devices
- ファイバガタ ヒカリ セイギョ デバイス ノ タメ ノ 3ジゲンテキ ビサイ カコウ
- 公開日
- 2005
- 資源種別
- journal article
- DOI
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- 10.1541/ieejsmas.125.211
- 公開者
- 一般社団法人 電気学会
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説明
The well-controlled, complex three-dimensional fiber structures would be more useful as optical devices and sensors. Optical fiber micro-machining was attempted by combination of plasma etching and photolithography technology. In addition, a Ni plating technology and Ni stencil mask were introduced newly into fiber micro-machining. As the results, optical fibers with periodically stepped diameter or with micro-holes were realized and discussed as wavelength filter or transmitted light monitor.
収録刊行物
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- 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 125 (5), 211-215, 2005
一般社団法人 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679437005056
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- NII論文ID
- 10015517870
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
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- NDL書誌ID
- 7343679
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- JaLC
- NDLサーチ
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
- OpenAIRE
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可